日本advance riko桌面型快速退火爐MILA-5050介紹說(shuō)明

發(fā)布日期：2021-05-14      瀏覽次數(shù)：1762

日本advance riko桌面型快速退火爐MILA-5050介紹說(shuō)明



Mila-5050是一款桌面型的快速退火爐，可用于處理φ50mm以內(nèi)的樣品。
用于處理φ20mm以內(nèi)的Mila-5000系列自推出以來(lái)深受客戶的認(rèn)可。隨著客戶對(duì)大尺寸樣品處理需求，Advance Riko在Mila-5000的基礎(chǔ)上推出可處理φ50mm樣品的MILA-5050。MILA-5050延續(xù)了MILA5000的緊湊設(shè)計(jì)，是一款集成加熱爐，加熱腔及溫控器與一體的桌面型快速退火爐。

用途

• 硅片和復(fù)合圓晶的快速退火
• 電子材料的快速熱退火，例如光學(xué)CVD的基板
• 玻璃基板，陶瓷和復(fù)合材料等的熱處理
• 熱循環(huán)測(cè)試
• 金屬材料的熱退火
• 涂膜的耐熱性評(píng)估
• 有機(jī)材料和樹脂的加熱和干燥

特長(zhǎng)

• 可對(duì)φ50mm以內(nèi)的樣品進(jìn)行熱處理
• 高熱處理溫度1200℃
• 集成加熱爐，加熱腔及溫控器與一體的桌面型設(shè)計(jì)
• 搭配水冷循環(huán)腔體，可進(jìn)行潔凈的快速升降溫。
• 通過(guò)USB連接，可將溫控程序輸入到電腦
• 加熱過(guò)程中可通過(guò)電腦監(jiān)測(cè)溫度數(shù)據(jù)；

規(guī)格

控溫范圍	RT ～ 1200 °C
升溫速率	50 °C/s
樣品尺寸	□ 50 or φ 50 × t 2 (mm)
氣氛	真空，流動(dòng)氣氛