氮化鋁中加工直孔 (t=450μm)技術(shù)分析

發(fā)布日期：2022-11-25      瀏覽次數(shù)：737

氮化鋁中加工直孔 (t=450μm)技術(shù)分析

在Spectronics，我們也專注于直孔加工，以響應(yīng)許多客戶對加工規(guī)格的要求。

作為皮秒激光微細(xì)加工的靶材，我們成功地在被認(rèn)為比較厚的 450 μm 氮化鋁上鉆了一個(gè)幾乎直的孔。

雖然它仍處于開發(fā)階段的光學(xué)工具，但已被證明對無錐度加工有效。未來，我們希望進(jìn)行驗(yàn)證，以便將其用作生產(chǎn)工具。

加工驗(yàn)證詳情
◇靶材
?。旱X（ALN） 厚度：450μm 顏色：淺棕色
◇二手激光振蕩器
　LDH-G0610（532nm/15ps/6W@200kHz）
◇加工光學(xué)系統(tǒng)
　原裝光束旋轉(zhuǎn)器和電掃描光學(xué)系統(tǒng)（f = 46mm)
　理論光斑尺寸 Φ12.45μm
◇ 調(diào)整照射方式
　相位角，將鉆孔后基材側(cè)的截面設(shè)置為直線狀
◇ 結(jié)果
　照射側(cè)孔徑 181.97μm 出射
　側(cè)孔徑 181.25μm
　加工時(shí)間 56sec /孔洞
◇ 加工后樣圖